Accueil Actualités adhérents PI FRANCE : A-688, Platine de rotation PIglide sur coussin d’air
PI FRANCE : A-688, Platine de rotation PIglide sur coussin d’air

PI FRANCE : A-688, Platine de rotation PIglide sur coussin d’air

Dotée d’un principe d’entraînement sans friction, elle est particulièrement adaptée à un usage en environnement propre

La nouvelle platine de rotation motorisée A-688 dispose d’un plateau mobile et d’une ouverture de grand diamètre.
Dotée d’un principe d’entraînement sans friction, elle est particulièrement adaptée à un usage en environnement propre.
Elle est équipée d’un moteur brushless triphasé qui peut être couplé à un codeur de position incrémental ou absolu.

Principales caractéristiques:

  • Diamètre plateau mobile 365 mm
  • Diamètre ouverture 260 mm
  • Epaisseur 113 mm
  • Répétabilité de positionnement ± 4 µrad
  • Excentricité 300 nm

Applications:

  • Tomographie
  • Inspection de wafer
  • Métrologie de surface
  • Banc de calibration
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