Dotée d’un principe d’entraînement sans friction, elle est particulièrement adaptée à un usage en environnement propre
La nouvelle platine de rotation motorisée A-688 dispose d'un plateau mobile et d'une ouverture de grand diamètre.
Dotée d'un principe d'entraînement sans friction, elle est particulièrement adaptée à un usage en environnement propre.
Elle est équipée d'un moteur brushless triphasé qui peut être couplé à un codeur de position incrémental ou absolu.
Principales caractéristiques:
- Diamètre plateau mobile 365 mm
- Diamètre ouverture 260 mm
- Epaisseur 113 mm
- Répétabilité de positionnement ± 4 µrad
- Excentricité 300 nm
Applications:
- Tomographie
- Inspection de wafer
- Métrologie de surface
- Banc de calibration