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MULTISS

MULTISS

Table de déplacement multi-échelle à résolution nanométrique avec capteur optique de positionnement

En cours

Type de projet

FUI 15

Porteur de projet

ISP System

Partenaires

Teem Photonics

Partenaires non-membres

ALPhANOV - Centre Technologique Optique et Lasers, LISV - Laboratoire d?Ingénierie des Systèmes de Versailles, LNIO - Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique

Enjeux

Instrumentation pour les nanotechnologies, destiné à la production dans l'industrie et aux laboratoires

Objectifs

Les nanotechnologies sont un moteur d'innovation transversal aux secteurs aéronautique, défense, électronique, ... Un des défis est de disposer d'outil permettant d'explorer la matière dans un volume centimétrique avec une résolution du nanomètre (multi-échelle). MULTISS (MULTISCALE INTERFEROMETRIC SCANNING STAGE) consiste à développer une table de positionnement nanométrique pour une course centimétrique et un capteur interférométrique miniature Ces produits seront compatibles ultravide. MULTISS est un concept en rupture avec les technologies existantes aussi bien sur le translateur que sur le capteur. La levée des nombreux verrous technologiques nécessite un effort de R&D. Ce projet fait suite au Projet ANR PNANO 2008 PONAME qui regroupait la plupart des partenaires de MULTISS. L'étude de marché a démontré une demande potentielle forte pour ce type de produit. Aucun produit aussi performant et pour un cout raisonnable n'est disponible sur le marché. Le projet est soutenu par des grands industriels et des laboratoires réputés à travers le monde. Un consortium a été mis en place. Les PME ont également signé une lettre d'intention de partenariat commercial long terme. ISP System est chargé de piloter le projet et de développer le concept de translateur et son contrôleur. Ce concept innovant s'appuie notamment sur un brevet détenu par ISP System Teem Photonics est chargé de développer le capteur interférométrique laser miniature et la source laser, basée sur la technologie de l'optique intégrée et s'appuyant sur le brevet détenu par Teem Photonics. Le laboratoire LISV est chargé de développer l'électronique de traitement du capteur interférométrique. Le Laboratoire LNIO et Alphanov sont chargés de développer les applications. Les applications sont duales. Pour la défense, c'est la nouvelle priorité Nanotechnologie. Pour le civil, les activités sont servent la propagation des nanotechnologies dans les secteurs de l'aéronautique, l'électronique,...

Projet infos page d'un projet

Investissement

3,489 K€

Durée

36 mois

Total effort

29 homme(s)/an