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PRECINOV

PRECINOV

Evaluation de précurseurs solides pour le dépôt par CVD

Terminé

Type de projet

FUI 10

Porteur de projet

Air Liquide Electronics Systems

Partenaires

CEA Grenoble, CNRS ALPES, Leti, STMicroelectronics Grenoble

Partenaires non-membres

KOBUS, LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique

Enjeux

Le présent projet a pour objectif l'évaluation de précurseurs solides Air Liquide permettant d'offrir des ruptures technologiques sur les couches matériaux élaborées par CVD. On se propose de développer un moyen efficace de sublimation et de mise en œuvre des précurseurs solides pour une utilisation optimale dans les applications CVD visées. Les précurseurs solides retenus interviendront en tant que dopants ou pour l'élaboration de couches minces, par CVD thermique conventionnelle ou par CVD pulsée, assistée plasma.

Objectifs

Les matériaux identifiés sont utilisés dans des thématiques pour lesquelles les ruptures technologiques envisagées permettront aux partenaires du projet d'accéder à des positions techniquement et/ou commercialement privilégiées. Les thématiques abordées compte tenu de la sélection des matériaux sont les suivantes: photovoltaïque, diodes électroluminescentes, mémoires à changement de phase, matériaux high k pour CMOS sub 22 nm. Des démonstrateurs sont réalisés en dernière année du projet en guise de preuve de faisabilité technique des solutions procédés et matériaux retenues.

Projet infos page d'un projet

Investissement

6 460 K€

Durée

36 mois

Total effort

40 homme(s)/an