Le produit

La pompe A204H est issue de la nouvelle génération série 4 de pompes primaires sèches dédiées aux applications les plus difficiles. Les principales innovations de cette gamme de pompes ont pour objectif l'augmentation de la durée de vie de la pompe. Parmi ces innovations, on peut citer: - l'implémentation de nouveaux matériaux permettant une meilleure résistance à la corrosion; - une plage de fonctionnement en température étendue, permettant de limiter le phénomène de dépôt de sous-produits de réaction dans la pompe; - un nouveau monitoring comprenant de nouvelles fonctionnalités telles que le support de nouveaux capteurs, l'enregistrement de l'historique de fonctionnement, de nouveaux algorithmes de déclenchement des seuils d'alertes et d'alarmes, la gestion d'un " middle mode " pour l'économie d'énergie. Dédiée au marché du semiconducteur, des écrans plats et des LEDs, la Série 4 répond aux contraintes les plus difficiles des applications de gravure ou de dépôt (CVD).

L'histoire du produit

Adixen Vacuum Products produit depuis 1992 des pompes à vide primaires de type " roots multi-étagé ". Il s'agit d'un pompage primaire sec qui a permis à adixen de se positionner sur les marchés du semiconducteur, LED, flat pannel display et photovoltaïque. Les procédés à basse pression mis en oeuvre dans ces industries produisent des gazs qui sont comprimés par la pompe, passent en phase solide et en attaquent chimiquement et mécaniquement les éléments mécaniques internes, limitant sa durée de vie. Un des objectifs du projet Minalogic Textuled2 (Novembre 2011 - Avril 2014) a permis de répondre à l'un de ces problèmes applicatifs. En effet, les machines de gravure de saphir du partenaire CORIAL, utilisées dans la fabrication des LED à Haute Brillance, génèrent des sous-produits de réaction qui à l'usage se sont révélés critiques pour les pompes primaires d'adixen équipant ces machines. Textuled2 a accompagné les études et développements qui apportent aujourd'hui une réponse technologique, avec pour objectifs la limitation de la formation des sousproduits et l'optimisation de la maintenance du couple machine de gravure / pompe primaire (communication M2M). La pompe A204H est le nouveau produit d'adixen qui intègre ces évolutions. Cette nouvelle pompe primaire multi-étagée est vouée à remplacer les modèles précédents au-delà des applications LED, pour les procédés toujours plus agressifs liés à l'augmentation des volumes et aux nouveaux matériaux, avec une exigence des clients pour des solutions plus communicantes et intégrées.