Un contrôle précis au cœur des procédés industriels

Les procédés chimiques humides jouent un rôle déterminant dans le rendement des semi-conducteurs. En effet, les variations de concentration peuvent impacter directement l’uniformité des traitements de surface, rendant leur contrôle précis indispensable.

Le CS-900F repose sur une méthode de mesure sans contact, qui s’installe simplement en fixant une cellule sur les conduites. Cette approche permet de réduire les risques de fuite chimique et de contamination.

Afin de répondre aux exigences de miniaturisation des équipements, HORIBA a intégré un système à fibre optique et déporté le spectromètre vers l’unité principale. Cette évolution permet de diminuer significativement la taille de la cellule intégrée aux outils, tout en conservant un haut niveau de performance.

Malgré cette réduction de taille, le système intègre un mécanisme de référence interne, garantissant une meilleure stabilité des mesures et limitant l’impact des perturbations externes.

Une compatibilité chimique élargie et des performances renforcées

Le CS-900F propose une plage de longueurs d’onde étendue, environ trois fois supérieure à celle des modèles précédents, permettant de prendre en charge une plus grande variété de produits chimiques utilisés dans les procédés humides.

En plus des solutions standards comme le SC-1 (mélange d’hydroxyde d’ammonium et de peroxyde d’hydrogène), le système est compatible avec des compositions chimiques plus complexes et potentiellement dangereuses, telles que les mélanges d’acides nitrique, phosphorique et acétique.

Le capteur est également capable de mesurer directement des liquides à haute température, jusqu’à 80 °C, sans nécessiter de préparation d’échantillon, améliorant ainsi la sécurité et la simplicité d’utilisation.

Une évolution continue au service de l’industrie

Comme l’explique Takuya Onoda, Product Line Manager chez HORIBA Advanced Techno : « Depuis son lancement en 1995, la série CS n’a cessé d’évoluer pour répondre aux besoins des clients. Avec le CS-900F, nous avons adopté une approche à fibre optique afin de réduire l’encombrement des équipements, un enjeu majeur dans l’industrie des semi-conducteurs. Nous avons également élargi la compatibilité chimique, renforçant ainsi la stabilité et la polyvalence de ce modèle phare. »

Informations complémentaires

• Contamination : introduction de substances étrangères pouvant altérer la pureté ou la qualité d’un produit.
• Lumière de référence : standard utilisé pour compenser les variations de source lumineuse et améliorer la précision des mesures.
• Footprint (encombrement) : surface occupée par un équipement ou un instrument.
• Données comparatives basées sur les modèles précédents de HORIBA ; les résultats peuvent varier selon les conditions d’utilisation.