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HMDE

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HARD MASK DEEP ETCHING

Financé

Type de projet

FUI 19

Porteur de projet

Corial

Partenaires

CEA Grenoble

Enjeux

L'objectif du projet est le développement de nouveaux composants en " matériaux durs " (saphir, verre, céramique, cristaux) avec des structures 3D aux dimensions microniques non réalisables par les techniques classiques d'usinage (mécanique, gravure chimique). Deux familles de composants sont identifiées : des composants horlogers (roues, ressorts...) et des composants discrets RF plus compacts et plus performants pour les applications télécom (filtre, duplexeur...).

Objectifs

L'objectif du projet est le développement de nouveaux composants en " matériaux durs " (saphir, verre, céramique, cristaux) avec des structures 3D aux dimensions microniques non réalisables par les techniques classiques d'usinage (mécanique, gravure chimique). Deux familles de composants sont identifiées : des composants horlogers (roues, ressorts...) et des composants discrets RF plus compacts et plus performants pour les applications télécom (filtre, duplexeur...).

Projet infos page d'un projet

Secteur d'activité

Technologies de base

Investissement

3,561 K€

Durée

36 mois

Total effort

17,5 homme(s)/an